光辐射自动测控仪

测量范围 （nm）	峰值波长 （nm）	量   程		主要用途
		辐照度	曝光（辐）量
350—1050	半 宽 400—1000	999 mW/cm2	9999.9 MJ/m2	材料老化
320—400	365	9.99 mW/cm2	999.99 mJ/cm2	印刷、光刻
380—460	420	9.99 mW/cm2	999.99 mJ/cm2	印刷

注：表中所列为常用波段和量程，用户选购仪器时要首先确认工作波段以及量程。用户也可选择其它波段，例如峰值波长为313nm或340nm，但是要提前就主要技术指标与技术部沟通，双方确认后再签购销合同。定制产品原则上不予退货。

3．光辐照度及曝光量精度：±5% （相对于NIM标准）

光辐射自动测控仪可广泛应用于材料老化、紫外杀菌、光化学、大规模集成电路光刻等领域。