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大视场应力检测机主要技术指标:1. 仪器测量精度:3nm2. 仪器偏振场范围:1520×800mm3. 检偏振镜旋转角:360°4. 检偏振镜格值:1°5. 仪器灵敏色片波长:565mm6. 视场光强:≥800Lx
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